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로이터 통신에 따르면 ASML은 이날 "최근 네덜란드 정부가 NXT:2050i, NXT:2100i 노광장치 수송 면허를 부분적으로 취소했다"며 "이는 중국에 있는 소수 고객에게 영향을 미친다"고 밝혔다.
앞서 네덜란드 정부는 지난해 미국 주도의 대중국 반도체 장비 수출 통제에 동참하는 조치로 자국 반도체 장비업체들이 심자외선(DUV) 노광장비 등 일부 첨단 반도체 생산 설비를 수출할 때 정부 허가를 받도록 한 바 있다.
노광장비는 극자외선(EUV) 등 빛을 반도체 원재료인 웨이퍼에 비춰 미세한 회로를 새겨넣을 때 쓰는 장치로, ASML은 세계 노광장비 시장을 장악하고 있다.
ASML의 대(對) 중국 수출 문제와 관련, 블룸버그 통신은 2일 ASML이 조 바이든 미 행정부의 요청으로 중국으로 수출할 일부 장비의 수송을 취소했다고 익명의 소식통을 인용해 보도하기도 했다.
이에 대해 왕원빈 중국 외교부 대변인은 2일 정례 브리핑에서 "중국은 미국이 국가안보 개념을 일반화하고, 각종 핑계로 다른 나라가 중국에 대해 과학기술 봉쇄를 하도록 협박하는 것에 일관되게 반대해왔다"고 밝혔다.
왕 대변인은 "반도체는 고도로 글로벌화한 산업으로 각국의 경제가 깊이 융합돼 있다"며 "미국의 횡포이자 일방적인 괴롭힘인 관련 행동은 국제무역의 규칙을 엄중히 위배한다"고 말했다. 그는 미국의 행동이 "글로벌 반도체 산업 구도를 심각하게 파괴하며, 국제 산업·공급망의 안전과 안정에 중대한 충격을 줬다"며 "자업자득이 될 것"이라고 비판했다.
또 왕 대변인은 네덜란드에 "객관적이고 공정한 입장과 시장 원칙을 견지하고, 계약 정신을 존중해 실제 행동으로 양국과 양국 기업의 공동 이익을 수호하기를 촉구한다"고 밝혔다. 그는 "중국은 관련 동향을 면밀히 주시하면서 스스로의 합법적 권익을 단호히 수호할 것"이라고 말했다.